ベローズ案内人のブログ

2016年7月30日土曜日

真空関係に使われるKFフランジが付いたベローズ

真空関係に使われるフランジにはJISのVG/VFフランジ、ISOのKF(CF)フランジと超高真空に使われるICFフランジなどがあります。

これはKFフランジが付いたベローズです。
ベローズ内径57mm 面間150mm ベローズ板厚0.15mm
材質はベローズもKFフランジも全てSUS316L 

他社との違いはベローズの板厚の薄さとバネ定数の低さです。バネ定数3.6N/mm





ICFフランジ(コンフラットフランジ)
超高真空装置に最も多く使用されているフランジで、金属ガスケットを使用します。 ガスケット溝にナイフエッジと呼ばれるエッジが立っておりエッジに傷がつくと真空シールを行うことができないので、取り扱いには注意が必要です。
JISフランジと比べてボルト穴の数が多いです。 (コンフラットフランジはVarian社の商品名です)

半導体装置などに取付けられているCF TYPEベローズ 
型式BCFKFフランジ(NWフランジ)超高真空装置の排気用、荒引き用などにもっとも多く使用されているOリング仕様のフランジです。 フランジにOリング溝を必要としないでOリングを取り付ける構造で、ボルト穴もなくクランプで接続、締め付けをワンタッチで行うことができるフランジで す。 (KFフランジはLeybold-Heraeus社の商品名です)

半導体装置の排気 用に使用されているKF TYPEベローズ 
型式BKFVG,VFフランジJIS B2290,1968に準拠した国内の真空配管に使用されている、Oリングシールを使用するフランジです。

ケイジョン継手(スウェージロック社製)VCRメタルガスケット式 ナットのネジ部には銀メッキが施されています。




第19回 関西機械要素技術展
期 間 10月5日~10月7日
場 所 インテックス大阪 号館12-29
主 催 リード エグジビション ジャパン㈱

マイドームビジネスフェスタ2016
期 日 : 11月30日~12月1日
会 場 : マイドームおおさか

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